熱流量センサー FDS.A

質量プロセス監視用ガス

製品概要
流量範囲 0～100 m/s、動作温度 -20 °C～+150 °C。産業用監視、ガス供給制御、インライン計測に適した熱式ガス流量センサーです。

製品説明
加熱素子と温度素子がデカップルされたガス流量センサー。ホットメルトハウジングの寸法および素子抵抗はFS7と同一。iSTのFlowデモボードと互換性があります。コンパクトなセラミック基板上の熱検出により、機械的および流体的な実装が容易です。

FDS.Aガス流量センサーの利点と特長

• 低流量での高感度を実現するクロストーク低減設計
• 薄膜プラチナ技術による長期安定性
• 可動部がなく運用信頼性が高い
• 各種の技術ガスや産業用途に適合
• 標準リード線による簡易な流体・電子統合
• 広いダイナミックレンジでの簡単な校正と高い再現性

FSガス流量センサーシリーズ（概要）
iSTのFS熱式流量センサーは、低流量での高感度と広い測定レンジ、迅速な応答を両立します。加熱構造と温度検出構造はガラス保護膜で覆われたセラミックチップ上に配置され、さまざまなチャネル形状へのコンパクトな実装を可能にします。用途例：医療用ガスの監視、産業用ガスの定量供給、フィルター性能の連続評価。カスタム対応およびハウジング組立オプションあり。

価格（1個あたり）
数量（個） - 価格（1個あたり）
1-9 - CHF 40.69
10-49 - CHF 28.33
50-100 - CHF 25.24

技術仕様

• 製品名（バリアント）：FDS.A.1L.195
• 測定媒体：ガス流量
• 流れ方向：一方向（アネモメトリック）
• 動作温度範囲：-20 °C～+150 °C
• チップサイズ / ハウジング寸法：ハウジング ø6 x 14 mm；チップ 4 x 2.4 mm（ハウジング外）
• 接続方式：Cu/Ag より線 AWG 30/7、PTFE 絶縁、加熱用 2 本赤、温度用 2 本黒
• リード線寸法：ハウジング端から195 mmの長さ、剥離長 5 mm
• 流量レンジ（フルブリッジモード）：0～100 m/s
• 流量レンジ（CTAモード）：0～100 m/s
• 応答時間 t63：約200 ms（0→10000 sccm のステップ）
• 応答感度：0.01 m/s
• 基板：セラミック
• 製品コード：155846