化学製品ポンプ FS series

空圧ふいご式据え置き型

高速ストローク 小型・軽量化、コスト削減の結果、最大240spmの高速ストロークが可能になりました。さらに、発生する脈動も最小限に抑えることができます。ポンプの種類により、ストローク数は異なります。 コンタミネーションフリーデザイン 液端のプラットはすべてフッ素樹脂製です。金属部分が露出しないように設計されています。外装もフッ素樹脂でコーティングされています。軸封（特許出願中）の採用により、粒子状物質の排出を大幅に低減する効果があります。 広い液温範囲と高圧吐出量 温度5～180℃、圧力0.5MPaまでの液体を扱うことが可能です。洗浄工程、CMP工程、薬液循環工程に使用可能です。 簡単なメンテナンス 近接スイッチの交換は、ポンプを取り外すことなく簡単に行えます。また、スタッドボルトの締め直しが不要なため、ダウンタイムの低減が可能です。 センサー駆動方式 近接スイッチを内蔵し、ソレノイドを開閉するセンサードライブ方式を採用。そのため、異なるポンプ駆動装置を使用する場合でも、吐出量の制御や管理を容易に行うことができます。