ふいご式ポンプ FA series

化学製品空圧据え置き型

コンタミネーションフリー設計 液端部には、耐熱性、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用。腐食性の強い液体を、粉塵を発生させることなく安全に移送することができます。 センサー駆動方式 近接スイッチを内蔵し、ソレノイドの開閉を行うセンサードライブ方式を採用しています。低ストロークでも安定した動作が可能です。 枚葉処理用には、スプレーシステムを搭載した低流量用ラテラルタイプのFA-2Eを用意しています。また、大流量対応の縦型FA-40VEWでは、200/300mmまでのウェーハを洗浄することが可能です。 FA-40VEWは、H型ベローズの採用により、高い圧力に耐えることができ、長時間の連続運転が可能です。また、専用のポンプドライバを使用すれば、吐出量の制御や監視が容易に行えます。