フィルム用厚さ計 BS-04

携帯型光学

水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続し、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートをリアルタイムに計測/制御するための6点/12点式水晶センサーです。 真空チャンバー内部のセンサー本体長さ、センサーヘッドタイプを選択して組み合わせることができます。 特長 概要 • 6MHz/5MHzの水晶振動子（クリスタル）を6枚または12枚装着できるマルチセンサーです。 • クリスタルが寿命 (Crystal Fail) になると、次のクリスタルへ切り替えてそのまま使用できるため、厚膜や多層膜の成膜に適しています。 • 検出孔は定位置のため、クリスタルが切り替わるごとに Tooling Factor を変える必要はありません。 • センサーヘッドはフラットタイプと 45°タイプの 2 種類あり、取り付ける位置で使い分けることができます。 • 高温環境下で使用する場合はオプションのCuキャップ(銅製カバー)をヘッド部に取り付けることができます。