携帯型厚さ計 BS-04

フィルム用光学

水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。 特長 6MHz/5MHzの水晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着できます。 クリスタルが寿命 (Crystal Fail) になると、次のクリスタルへ切り替えてそのまま使用できます。 検出孔が定位置なので、クリスタルの移動ごとに Tooling Factor 値を変える必要はありません。 センサーヘッドはフラットタイプと 45°タイプの 2 種類があり、取り付ける位置で使い分けることができます。 長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効です。