防振光学テーブル ZDT-P Series

精密空気圧式作動

ZDT-P型防振装置は、超薄型複合材料の空気ばねに多気流層流防振減衰技術を付加したものです。 優れた防振効率と高い安定性を実現しています。また、オートレベリング機能、オートインフレータ機能を備えています。ZDT-Pタイプのエアシステムは、エアチューブとエアプレッシャーフィルターの両方がドイツFESTO製です。 静音エアーコンプレッサーは別途注文が必要です。 応用例】 ・高精度光学顕微鏡、バイオメディカル用 高精度光学顕微鏡、バイオメディカル用途 光路試験・測定 レーザースキャニング、干渉計 分光器、高精度測定器 高い防振性能が要求される集積電子機器、その他の光学機器 技術仕様。 固有の周波数。縦: 1.0-2.0Hz 横: 1.0-2.0Hz 防振タイプ:U ltraの薄い空気ばね 平準化のタイプ: 自動 振動減衰タイプディフューザー付き多孔質準層流制振エレメント TotalTableの高さ:800mm 働く空気圧: 0.2-0.4MPa 圧縮空気源サイレントコンプレッサー（騒音レベル） ＜50dB 防振効率。 垂直：5Hz 82～88% 10Hz 86～95 横: 5Hz 78～86% 10Hz 84～92 水平出しの正確さ: ±0.1mm テーブルの上の平坦度: ≤0.05mm/m² 表面粗さ：≤0.8μm，マット表面処理 アイソレータ高さ調整範囲：±10mm