製品概要:CellaWafer PA 38 は、ウェーハおよび金属の非接触温度測定用デジタル放射温度計で、測定範囲は 450~1800 °C です。非常に短波長かつ狭帯域のスペクトル応答により、シリコンウェーハのプロセス(例:RTP)やタングステン、モリブデンなどの金属測定に適しています。設計により被測体の放射率変化に対する感度が低く、量産環境で安定した測定を実現します。
主な特長:- 測定範囲 450~1800 °C
- 測定距離を正確に調整できる可変焦点の交換レンズ
- 広帯域反射防止精密光学系
- 短波長・狭帯域スペクトル(0.88 µm)
- シリコンウェーハおよび金属の精密測定に最適化
- 視認性の高い4桁LED表示、遠距離からも読取可能
- 診断用の試験電流出力
- 標準インターフェース:アナログ出力、USB、RS‑485
選択可能な仕様 / 典型構成:- 測定範囲:450 – 1800 °C
- 焦点距離(例):0.3 m – ∞(レンズ依存)
- 照準オプション:レンズ透過式照準 / 内蔵ビデオカメラ / レーザーパイロット
- 型式例:CellaWafer PA 38 AF 10
標準添付品(典型):- 放射温度計 CellaWafer PA 38
- 接続ケーブル VK 02/A(5 m)
- 内蔵カメラモデル用ビデオケーブル VK 02/F(5 m)
- USB ケーブル VK 11/D(1.8 m)
- ソフトウェア CellaView
- 簡易マニュアル
製品ページの注意点 / ツール:- 測定スポット径計算機(距離に対するスポット径例)
- 放射率計算機および放射率設定機能
- カメラ機能のビデオデモ
主な仕様(抜粋):- 品番:1124957
- PGB 番号:500
- 測定原理:単色(one‑colour)
- 測定範囲:450 – 1800 °C
- 波長範囲:0.88 µm
- センサー:フォトダイオード
- 応答時間 t98:≤ 50 ms(T > 650 °C);≤ 2 ms(T > 850 °C)
- 測定不確かさ:読み値の 0.3 %、最小 4 K
- 再現性:1 K
- 距離比(D:S):60 : 1
- 測定フィールド形状:円形
- 代表レンズ:PA 20.08(例:F50 PZ 20.08 — 焦点 0.3 m – ∞)
- アナログ出力:0(4) – 20 mA、線形、切替可、スケーラブル;R ≤ 500 Ω
- アナログ入力:0 – 10 V
- スイッチ出力:2 × オープンコレクタ 24 V DC、≤ 30 mA
- スイッチ入力:2 × 最大 24 V
- インターフェース:USB、RS‑485
- 電源:24 V DC(+10 % / −20 %);消費電流 ≤ 175 mA
- ビデオ出力(カメラオプション):コンポジット PAL
- 表示:赤色4桁LED、文字高 8 mm;状態表示:2 × LED;操作:3ボタン
- コネクタ:M12、8ピン
- 周囲温度(動作):0 – 65 °C;保管:−20 – +80 °C
- 許容湿度:最大 95 % r.H.(結露なきこと)
- 筐体:ステンレス鋼 V2A(1.4305);保護等級:IP65
- 寸法:Ø 65 mm × 220 mm(最大 277 mm);質量:約 0.9 kg
- 調整可能パラメータ(例):測定範囲、アナログ I/O スケール、平滑化フィルタ、放射率/透過率、反射環境放射補償、アラーム限界、線形化、LED 振る舞い、シミュレーション、単位 °C/°F;カメラモデル:TBC、ホワイトバランス
- 機能(例):過温度信号(内部温度 > 80 °C の場合アナログ出力 > 20.5 mA)、サービス用値のシミュレーション、断続プロセス向け ATD(自動温度検出)
- ソフトウェア:CellaView