ウェーハエッチングマシン Primaxx® Monarch 3

Primaxx® Monarch 3 は、制御された無水 HF/ アルコールエッチプロセスにより選択的なエッチリリースを行うように設計されたフッ化水素蒸気 (VHF) エッチングシステムです。Monarch 3は、ロードロック付き半自動3ウェハローダを含む3ウェハプロセスチャンバを搭載したコンパクトなモジュールで、研究室や少量生産環境向けに設計されています。オンボード電子機器を搭載した一体型パネルPCにより、クリーンルームの設置面積を最小限に抑え、ウェーハサイズの変更やメンテナンスが容易に行えるよう設計されています。 MEMSリリースエッチ マイクロLEDリリース RFデバイスのベーパーリリース MEMS RFデバイス製造 フォトニクス