空気式ポンプ F-EPP, F-APP series

水化学製品空圧

国特長 萁社拄目の8の字形状のチューブと、ベローズを組み合わせた丁リ加閒卩抑)ポンプ構造を採用。 ，播動部がなしぬめ、ポンプ作動によるパ一ティクルの発生がほとんどありません。 鲁シリンジポンプのパツキン交捵のような定期的なメンテナンスが不要です。 ^塞液の滞留が少ない構造で、フ才トレジストのゲル化を防止します。 ^外贫の浸入がなく、电解液の結品化が生じ難い構造です。 用途例 ^半導体フォ卜リソグラフィー工程のフォ卜レジス卜液逮布 ^リチウムイオン霉池など各播电池製造工程の霉解液注液 ^その他、恶液の定置吐出用途など