ウェハー用マテリアルハンドリングクランプ WHA series

お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。 ■固定搬送 クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。 ■ ウエハ表裏に対して非接触 エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。 ■ クリーン度クラス1対応 ■WHA シリーズ サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ