卓上電源 HECD series

AC/DCスイッチングデジタル

極性切替や強制接地の機能はもちろん、ウエハの状態をモニタリングしたいというニーズにも対応したモデルです。幅広い電圧ラインナップで、クーロン力型、ジョンセン・ラーベック力型どちらにも対応可能です。 概要 ハーフラックサイズのコンパクト設計 ウエハの状態をモニタすることで確実な吸着/剥離が可能 極性反転機能によるスムーズな剥離でタクトタイムの短縮を実現 特長 ウエハセンシング機能により確実な吸着/剥離が可能 アンプ構造を採用、高速応答かつ極性切換時にリレーを使用しない長寿命を実現 「2ch独立制御（オプション）」や「センタータップ出力（オプション）」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能 デジタルインターフェース（LAN・USB・RS-232C）標準装備 RFフィルター（ローパスフィルタ）内蔵（13.56MHz）