水用フィルターカートリッジ CMPro-M series

深層ポリプロピレン製多目的

Membrane Solutions CMPro-Mシリーズのデプスフィルターは、SDS（スラリーデリバリーシステム）用のバルクスラリーろ過用に特別に設計されています。複合構造ポリプロピレンメディアで製造され、ユニークな勾配密度設計により、CMPろ過の課題に対応することが可能です。CMPro-Mは、テーパー状の孔を持つことで、優れた凝集物の保持効率と高いコンタミネーション容量のバランスを実現しています。CMPスラリーから破壊的な粒子のみを効果的に除去することができ、有効なスラリー粒子の粒度分布（PSD）は濾過後に変化することがない。CMPro-Mは、酸化物CMP、STI CMP、金属CMPなど、さまざまな場面でのCMPアプリケーションに対応することができます。 特徴 グラデーションフィルター構造により、高い濾過効率を実現。 濾過効率カーブを急峻にすることで、粗大粒子の濾過率を大幅に向上させ、有効粒子の濾過を最小限に抑えます。 最適化されたライフタイムと低コストを実現します。 界面活性剤やバインダーを使用していないため、低抽出物です。