MEMS流量センサー MSL01

シリコン密度質量

高感度コアフローセンサは、伝熱原理に基づいている。センサー構造は、感応膜上に配置された微小熱源、微小熱源と対称に配置された上流側温度センサーと下流側温度センサー、シリコンベース上に配置された周囲温度センサーから構成される。センサー表面に流体の流れがない場合、微小熱源周辺の温度場は（a）のように対称に分布し、センサー表面に流体の流れがある場合、微小熱源への流体の冷却効果により微小熱源周辺の温度場は乱れ、微小熱源の上流と下流は図（b）のように非対称に分布する。(流体の流速が大きいほど、微小熱源から流出するガスの流量が大きくなり、非対称性が大きくなる。流体の流速は、上流側と下流側の温度センサーの温度差から求められる。 - ワイドレンジ比>300:1 - 高速応答時間<5ms - 超低スタートアップ流量<0.05m/s - 高感度・高精度 読み取り精度±3%以上 - 非可動部品、高い信頼性 - クリーンなガスと液体に最適 - 医療用呼吸器、診断機器 - 燃料電池制御 - 自動車用エアフローメーター - 家庭用ガス機器 - ガス・液体クロマトグラフ質量分析計 - 空調機器 - リークディテクター - 産業オートメーション