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... 測定範囲 [SCCM］ 0...30 出力信号 リニア, 1～5 VDC 精度 [± % FS] max. 2.5 電源電圧 [VDC］ 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコンサプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズのマスエアフローセンサは、最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスの技術革新を取り入れています。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0～50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM］ 0...200 出力信号 リニア、1～5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC］ 8...14 湿度範囲 0....100% RH、耐水結露性 接液材料 シリコンカーバイド, エポキシ, PPS, FR4, 静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfisterセンサー＆パワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0～50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM］ 0...1000 出力信号 リニア、1～5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC］ 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0～50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM］ 0...2000 出力信号 リニア、1～5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC］ 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0～50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... シリコン技術に基づくフローセンサー - SFS01 SFS01は特に3.5 m/s（気体中）までの低流速に適しています。流量だけでなく流れ方向も非常に高速に計測します。 シリコンフローセンサーSFS01には3つの特徴があります： - 非常に速い応答時間 <5 ms - 低消費電力 - 温度補正を含む容易なシステム統合 最適化された流路形状により、センサーの性能をご希望のアプリケーションに最適に合わせることができます。SFS01フローセンサーは限られたスペースのアプリケーションに最適ですが、すぐに使用可能なシステムに簡単にアップグレードすることも可能です。 SFS01フローセンサに適したアプリケーション分野は、バッテリー駆動/ポータブル機器、空調技術（HVAC）、オートメーション技術、プロセスおよび制御エンジニアリングにおける流量測定です。 ...
... SFSモジュール 1000 sccm ガス注入システム、マニホールド、分析計に適した高速でコンパクトなフローモジュール。コンパクト設計、工場校正、HWアドレス設定用ピンで統合が容易。 このモジュールは異なる流量レンジにも対応可能です： +/- 200 sccmまで対応可能です：> 今すぐ製品をリクエスト +/- 50 sccm> 今すぐ製品をリクエスト ...
... 高感度コアフローセンサは、伝熱原理に基づいている。センサー構造は、感応膜上に配置された微小熱源、微小熱源と対称に配置された上流側温度センサーと下流側温度センサー、シリコンベース上に配置された周囲温度センサーから構成される。センサー表面に流体の流れがない場合、微小熱源周辺の温度場は（a）のように対称に分布し、センサー表面に流体の流れがある場合、微小熱源への流体の冷却効果により微小熱源周辺の温度場は乱れ、微小熱源の上流と下流は図（b）のように非対称に分布する。(流体の流速が大きいほど、微小熱源から流出するガスの流量が大きくなり、非対称性が大きくなる。流体の流速は、上流側と下流側の温度センサーの温度差から求められる。 - ...
MEMSensing Microsystems (Suzhou,China)Co.,Ltd.
... 高感度コアフローセンサは、伝熱原理に基づいている。センサー構造は、感応膜上に配置された微小熱源、微小熱源と対称に配置された上流側温度センサーと下流側温度センサー、シリコンベース上に配置された周囲温度センサーから構成される。センサー表面に流体の流れがない場合、微小熱源周辺の温度場は（a）のように対称に分布し、センサー表面に流体の流れがある場合、微小熱源への流体の冷却効果により微小熱源周辺の温度場は乱れ、微小熱源の上流と下流は図（b）のように非対称に分布する。(流体の流速が大きいほど、微小熱源から流出するガスの流量が大きくなり、非対称性が大きくなる。流体の流速は、上流側と下流側の温度センサーの温度差から求められる。 - ...
MEMSensing Microsystems (Suzhou,China)Co.,Ltd.