赤外線放射装置 JSIR350-4-AL-R-D6.0-N2-A1

中波パワーガスセンサ用

JSIR340-4 は、NDIR ガス分析および DIR 分光、ATR 分光、PAS 分光などの赤外線測定用途に最適化されたコストパフォーマンスの高い赤外エミッターです。cmOSベースの赤外線エミッターの膜温度は最大800℃に達します。プロセスガスや関連ガスの制御・監視を目的とした産業用アプリケーションにおいて、-20～85℃の周囲温度で長期間安定した放射出力を提供します。キャップ付きの標準的なTOハウジングに収められたパッケージバージョンは、最大2 cmまでの距離の測定に適しています。 当社のIRエミッタに使用されているMEMSチップは、高温安定性の高い金属C-MOSI層を含む多層熱板ダイアフラムで構成されています。エミッターチップのアクティブエリアは2.2 x 2.2 mm2で、バックエッチングされたメンブレンを持つシリコン基板をベースにしています。すべての薄膜プロセスは、標準的なMEMSプロセスおよびcmOS互換の材料を使用して実行されています。C-MOSI抵抗活性層は、経年劣化や環境から保護されています。