極低温プローブステーション CPS-XXX-CF-PLUS

半自動

CPS-XXX-CF-PLUSは、9K（シングルCCRシステム）、4.5K（デュアルCCRシステム）、さらに4K（トリプルCCRシステム）までの極低温でのウェーハおよびデバイスのテストを迅速かつコスト効率よく行うことができるモデルです。 100mm、150mm、200mm、300mmのウェハーをテストするためのシステムを提供しており、オプションでロードロック機能を付けることができます。システムは、個別のプローブアーム（オプションでウェッジプローブ付き）またはプローブカードホルダーで構成することができます。100個以上のDCプローブを使用した高密度プロービングが可能です。このようなシステムは、超伝導エレクトロニクスの分野だけでなく、量子コンピューティングの新しい分野にも理想的です。 特徴 - プローブアームには、手動式マイクロマニピュレーターを採用。 - 複数のCCRオプション - 4μm以上の解像度を持つ7:1Xズームチューブを標準装備。 12.5:1、16:1ズームレンズも使用可能。 - 真空ポンプの振動を効率よく吸収する防振構造。 - 受動磁気シールド、能動磁気シールドをオプションで選択可能