プローブステーション

磁場プローブステーションは、主に半導体材料、マイクロナノデバイス、磁性材料、スピントロニックデバイス、および関連する技術分野の電気的および磁気的特性をテストするために使用されます。 磁場または可変温度環境を提供し、高精度のDC/RF測定を実行できます。 同社の製品は、強力な安定性、多様な機能、およびアップグレード可能な拡張を備えたさまざまな磁場プローブステーションを設計および製造しています。 それらは、大学、研究機関、および半導体業界での実験的研究と生産に適しています。

高温および低温の真空磁場プローブステーションは、高温および低温、真空および磁場環境を提供する高精度の実験プラットフォームであり、その設計の多くは専用です。 高温および低温磁界プローブステーションの構成は、主にユーザーのニーズに応じて選択および設計されています。 例えば、必要な磁界値、均一領域のサイズ、均一性のサイズ、サンプルステージのサイズなどである。 これらのパラメータは、特定の領域の磁力線によって生成される磁束密度に関連しています。 変位ステージは、磁気流体シールと一致させて、水平方向の2次元運動とサンプルステージの360度回転を実現することもできます。 さらに、プローブステーションと当社が独自に開発した高精度バイポーラ定電流電源の組み合わせにより、ユーザーは磁場の高い安定性を実現できます。 ...

A平面内磁場を提供する一次元磁場プローブステーション、磁場の均一性は ± 1% @ φ 2 mmです。 ▹ 磁場強度のリアルタイムモニタリングとフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

2セットの磁石を含む2次元磁場プローブステーションは、垂直磁場と面内磁場を同時に提供することができ、磁場の均一性は ± 1% @ ∅ 1mmです。 リアルタイムのモニタリングと磁場強度のフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

磁場プローブステーションは、半導体産業、MEMS、超伝導、電子工学、フェロエレクトロニクス、物理学、材料科学、生物医学の分野で広く使用されています。 Dexinmagの1次元、2次元、3次元の磁場プローブステーション。 - コイルは空冷 (小さい磁界) または水冷 (大きい磁界) であり、コイル過熱保護装置が装備されています。 - Dexinmagによって生成される高精度バイポーラDC電源と組み合わせて使用すると、長時間安定して動作できます。 ...

平面内磁場プローブステーション、磁石を除くユニバーサルデザイン、磁場均一性 ± 1% @ φ 1 mm; リアルタイムのモニタリングと磁場強度のフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

垂直磁場を提供する一次元磁場プローブステーション、磁場の均一性は ± 1% @ d2mmです。 リアルタイムのモニタリングと磁場強度のフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

垂直磁場プローブステーションは、磁石を除いて、構造は普遍的に設計されており、磁場の均一性は ± 1% @ φ 1 mmです。 リアルタイムのモニタリングと磁場強度のフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

... SPS-1000、SPS-2000、SPS-2200システムは、柔軟で使いやすい設計のMicroXactの最高級マニュアル・プローブ・ステーションです。これらのマニュアルプローブシステムは、高い性能と手頃な価格により、他の製品とは一線を画しています。 最大200mmウェーハ対応、DC/RFプローブ、サーマルチャック（オプション）、各種シールドオプションにより、故障解析、信頼性試験、IV/CV試験、低電流試験、マイクロ波/RF特性評価などの幅広いアプリケーションに使用することが可能です。 マイクロザクトのマニュアル・プローバを用いたIV/CV/微小電流テストは、半導体デバイスの特性評価に必要な精密で正確な計測を実現します。MicroXactのマニュアル・プローブ・ステーションの多様なオプションと柔軟性により、ダイ上のウエハレベルキャパシタンスと低電流テストはかつてないほど容易になりました。 特徴 ...

... 標準的な半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - ステッピングモーターベース、エンコーダーなし。 - 高いコスト競争力 - 0℃以下の試験や遮蔽が必要なアプリケーションに最適。 - オプション：加熱・冷却チャック、ズームスコープ、複合顕微鏡、各種シールド、DC・RF測定用チャックの選択、その他多数 仕様 ...

... 高精度な半自動化システム - XYチャック電動、Zチャック電動を標準構成。オプションでθ軸の電動化も可能。 - ステッピングモーターを使用し、リニアエンコーダを搭載。 - 位置決めスペックとしてはコスト競争力があります。 - 少量生産でのテスト・試作に最適です。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ ステッピングモーター - XYステージ移動量 ...

... 高速半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - サーボモーターベース、リニアエンコーダ。 - 非常にコスト競争力のある、高速、高生産性のソリューションです。 - 中規模生産など、スループットが重視される用途におすすめです。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ ...

... LCS-4000 プローブステーションは、半導体診断用切断、故障解析、トリミング、マーキング、トップサイドレイヤの除去において、最大限の柔軟性を提供します。これらの機能はすべて、この1台のシステムで顕微鏡レベルで実行することができ、驚くほど簡単な操作で高いパフォーマンスを実現します。 統合型レーザー切断システムは、デバイス内部にダメージを与えることなく、コンタクトリードや犠牲層などをレーザー切断し、集積回路上の導体を変更することができます。このレーザートリミング工程は、トップサイド層の除去などの選択的な層除去を可能にし、半導体の故障解析や抵抗、静電容量、RF特性などのデバイス特性の微調整を支援します。MicroXactのレーザー切断システムは、欠陥のある部品を回路の残りの部分に接続する金属線を切断することによって、欠陥のある部品を分離することも可能です。あらかじめ組み込まれたロジックには、ウェハ上の欠陥デバイスの自動識別や、アブレーションによるウェハからの欠陥デバイスの完全消去が含まれています。 LCS-4000は、電動式、半自動式、全自動式の構成システムとして提供され、様々な設計オプションやアクセサリにより、幅広いアプリケーションに容易に対応することが可能です。 LCS-4000プローバステーションの特徴 ...

... A4P-Series Wafer Resistivity Mappersは、実績のある業界標準を採用し、試料の抵抗率分布を迅速、正確かつ信頼性の高い測定が可能です。MicroXactの4点プローブは、4点プローブの外側ポイントに電流を流し、内側ポイントの電圧を測定することにより、半導体ウェハーの層の平均抵抗値を測定します。そして、シート抵抗に膜厚を乗じることで、電気抵抗を与える材料の特性である抵抗率の値を求めることができます。 A4Pプローブは、100mm、150mm、200mm、300mmシステムとして提供され、メンテナンスフリーで非常に使いやすい設計になっています。このシステムには、広範囲の熱テスト、非標準材料用のカスタムチャック、ほぼすべてのアプリケーション用にカスタマイズされた4ポイントプローブなど、さまざまなオプションが用意されています。 ...

... CPS-XXX-CF-PLUSは、9K（シングルCCRシステム）、4.5K（デュアルCCRシステム）、さらに4K（トリプルCCRシステム）までの極低温でのウェーハおよびデバイスのテストを迅速かつコスト効率よく行うことができるモデルです。 100mm、150mm、200mm、300mmのウェハーをテストするためのシステムを提供しており、オプションでロードロック機能を付けることができます。システムは、個別のプローブアーム（オプションでウェッジプローブ付き）またはプローブカードホルダーで構成することができます。100個以上のDCプローブを使用した高密度プロービングが可能です。このようなシステムは、超伝導エレクトロニクスの分野だけでなく、量子コンピューティングの新しい分野にも理想的です。 特徴 ...

... モデルCPS-HTは、真空中または制御されたガス環境下で、市場で最も高い温度でのデバイスのテストと特性評価を行うためのMicroXactの高温プローブシステムです。2" x 2" (50mm x 50mm)までのサンプルをテストするためのマニュアルウェハープローバーと、100mm以上のウェハーをテストするためのモーター駆動またはセミオートマチックシステムを提供しています。これらのシステムは、真空中で700℃まで、または大気圧下で650℃までの試料をテストすることができます。 特徴 ...

... MPS-C-300、MPS-C-350は、世界で初めて被測定物の周囲を3次元的に磁場制御できるプローブステーションです。 特許出願中のマイクロアクト独自の設計により、スピントロニクスデバイス、ナノスケールエレクトロニクス、その他多くの材料やデバイスのウエハレベル試験において、正確な試験や測定に磁場が必要とされる場合に対応します。スピントルク発振器試験、磁気シミュレーション、複雑な多層構造の異方性の特定などは、MPSシステムのアプリケーションのほんの一例に過ぎません。 特徴 ...

... SPS-2600-VACおよびSPS-2800-VACシリーズは、真空または制御ガス雰囲気において、最大100mmまたは最大200mmのウェハーを電動または半自動でプロービングできるように設計されたマイクロザクト社の真空プローブシステムです。この真空テストソリューションは、システマティックで正確、コスト効率が良く、低ノイズで使い勝手の良いものです。これらの真空プローブシステムは、振動補正された汎用性の高いプラットフォーム上に構築されており、様々なプローブアプリケーションに対応できるように構成することが可能です。77Kまでのアイシングフリー試験や、酸化しやすいデバイスやコンポーネントの高温試験に最適なMicroXactの真空プローブシステムは、制御された環境のウエハレベルプロービングを提供します。 真空プローブステーションの特徴 ...

... HPD IQ3000は、4K環境下で150mmおよび200mm基板に対応する高精度全自動プロービングステーションです。商用量子コンピュータや超伝導コンピュータの実現を加速するために、チップ開発者が設計をインテリジェントに反復するために必要なツールを提供します。IQ3000は、設定可能なDCおよびRFケーブルを統合し、カスタムプローブカードも利用できるため、究極の柔軟性を持ったテスト構成が可能です。磁気シールドを内蔵した堅牢な設計により、最も繊細な超電導デバイスの最高品質のデータを保証するために必要な安定した環境条件を提供します。完全自動化されたウェーハローディングと洗練されたVeloxソフトウェアスイートにより、高スループットテストと無人運転による迅速なデータ取得を実現します。FormFactorの長年にわたるプロービングの専門知識と数十年にわたる精密な極低温技術を結集したこのシステムは、超電導デバイスのテストと測定をラボからファブに持ち込むことができます。 ...

... HPD Kilimanjaro 122は、お客様のあらゆるプロービングニーズにお応えする優れた4Kソリューションです。長いターンアラウンドタイム、高ノイズ、低信号能力などの問題を解決し、お客様をサポートすることを目的としています。プローブ計測ソリューションと極低温システムに関するFormFactorの優れた知識は、お客様の目標達成を支援するために最適なポジションを提供します。 真の4K温度を達成するために、このシステムはプロービング作業を行うために極低温ポジショナを採用しています。すべての信号が試料に到達する前に十分に沈むように、細心の注意を払っています。すべてのインターフェースは、試料に影響を与える放射線を遮断するよう特別に設計されています。光学ポートには、オプションで4Kと50Kの遮光シャッターを取り付けることができ、寄生する熱負荷を除去することができます。その結果、5mKの温度安定性を持つ真の4Kシステムが実現しました。 プロービングアプリケーションでは、機械的な振動も大きな問題となります。プローブと被測定機（DUT）の間の変位は、試料にダメージを与え、測定にノイズを誘発する可能性があります。また、機械的な振動がケーブルに伝わると、信号にも摩擦帯電ノイズが誘導されます。当社では、柔軟なサーマルジャンパーと真空ベローズを採用し、GMクライオクーラーをシステムの他の部分から切り離します。 カスタマイズを念頭に置いて設計されたKilimanjaro ...

... HPD Kilimanjaro 125は、超低振動アプリケーションに重点を置いた、あらゆるプロービングニーズに対応する優れた4Kソリューションです。Kilimanjaro 122と同様に、このシステムは、長いターンアラウンドタイム、高ノイズ、低信号能力などの問題に対応します。フォームファクターは、プローブ計測ソリューションと極低温システムに関する優れた知識を有しており、お客様の目標達成を支援する最適な立場にあります。 このシステムは、利用可能なすべての冷却力を最大限に活用するために、さまざまな熱絶縁技術を採用しています。すべての信号が試料に到達する前に十分に沈むように、特別な配慮がなされています。すべてのインターフェースは、試料に影響を与える放射線を遮断するよう特別に設計されています。光学ポートには、オプションで4Kおよび50Kの遮光シャッターを取り付けることができ、寄生的な熱負荷を除去することができます。その結果、5mKの温度安定性を持つ真の4Kシステムが実現しました。 プローブアプリケーションでは、機械的な振動も大きな問題です。大きな変位は、試料にダメージを与え、測定にノイズを誘発します。また、機械的な振動がケーブルに伝わると、信号にも摩擦電気ノイズが誘導されます。このシステムは、Kilimanjaro ...

... 真の4K低温で高精度な測定を実現する大型超低振動チップスケールプローバー HPD Kilimanjaro 1260は、人間工学に基づいた低振動システムで、あらゆるプローブニーズに対応する優れた4Kソリューションです。Kilimanjaro 125と同様に、このシステムは、長いターンアラウンドタイム、高いノイズ、低い信号能力などの問題に対処します。フォームファクターは、プローブ計測ソリューションと極低温システムに関する優れた知識を持っており、お客様の目標達成をサポートする最適な立場にあります。 Kilimanjaro ...