プローブステーション

... SPS-1000、SPS-2000、SPS-2200システムは、柔軟で使いやすい設計のMicroXactの最高級マニュアル・プローブ・ステーションです。これらのマニュアルプローブシステムは、高い性能と手頃な価格により、他の製品とは一線を画しています。 最大200mmウェーハ対応、DC/RFプローブ、サーマルチャック（オプション）、各種シールドオプションにより、故障解析、信頼性試験、IV/CV試験、低電流試験、マイクロ波/RF特性評価などの幅広いアプリケーションに使用することが可能です。 マイクロザクトのマニュアル・プローバを用いたIV/CV/微小電流テストは、半導体デバイスの特性評価に必要な精密で正確な計測を実現します。MicroXactのマニュアル・プローブ・ステーションの多様なオプションと柔軟性により、ダイ上のウエハレベルキャパシタンスと低電流テストはかつてないほど容易になりました。 特徴 ...

... 標準的な半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - ステッピングモーターベース、エンコーダーなし。 - 高いコスト競争力 - 0℃以下の試験や遮蔽が必要なアプリケーションに最適。 - オプション：加熱・冷却チャック、ズームスコープ、複合顕微鏡、各種シールド、DC・RF測定用チャックの選択、その他多数 仕様 - ウエハーサイズ ...

... LCS-4000 プローブステーションは、半導体診断用切断、故障解析、トリミング、マーキング、トップサイドレイヤの除去において、最大限の柔軟性を提供します。これらの機能はすべて、この1台のシステムで顕微鏡レベルで実行することができ、驚くほど簡単な操作で高いパフォーマンスを実現します。 統合型レーザー切断システムは、デバイス内部にダメージを与えることなく、コンタクトリードや犠牲層などをレーザー切断し、集積回路上の導体を変更することができます。このレーザートリミング工程は、トップサイド層の除去などの選択的な層除去を可能にし、半導体の故障解析や抵抗、静電容量、RF特性などのデバイス特性の微調整を支援します。MicroXactのレーザー切断システムは、欠陥のある部品を回路の残りの部分に接続する金属線を切断することによって、欠陥のある部品を分離することも可能です。あらかじめ組み込まれたロジックには、ウェハ上の欠陥デバイスの自動識別や、アブレーションによるウェハからの欠陥デバイスの完全消去が含まれています。 LCS-4000は、電動式、半自動式、全自動式の構成システムとして提供され、様々な設計オプションやアクセサリにより、幅広いアプリケーションに容易に対応することが可能です。 LCS-4000プローバステーションの特徴 ...

... CPS-XXX-CF-PLUSは、9K（シングルCCRシステム）、4.5K（デュアルCCRシステム）、さらに4K（トリプルCCRシステム）までの極低温でのウェーハおよびデバイスのテストを迅速かつコスト効率よく行うことができるモデルです。 100mm、150mm、200mm、300mmのウェハーをテストするためのシステムを提供しており、オプションでロードロック機能を付けることができます。システムは、個別のプローブアーム（オプションでウェッジプローブ付き）またはプローブカードホルダーで構成することができます。100個以上のDCプローブを使用した高密度プロービングが可能です。このようなシステムは、超伝導エレクトロニクスの分野だけでなく、量子コンピューティングの新しい分野にも理想的です。 特徴 ...

... モデルCPS-HTは、真空中または制御されたガス環境下で、市場で最も高い温度でのデバイスのテストと特性評価を行うためのMicroXactの高温プローブシステムです。2" x 2" (50mm x 50mm)までのサンプルをテストするためのマニュアルウェハープローバーと、100mm以上のウェハーをテストするためのモーター駆動またはセミオートマチックシステムを提供しています。これらのシステムは、真空中で700℃まで、または大気圧下で650℃までの試料をテストすることができます。 特徴 - プローブアームは、外部手動マイクロマニピュレーターで調整できます。 ...

... MPS-C-300、MPS-C-350は、世界で初めて被測定物の周囲を3次元的に磁場制御できるプローブステーションです。 特許出願中のマイクロアクト独自の設計により、スピントロニクスデバイス、ナノスケールエレクトロニクス、その他多くの材料やデバイスのウエハレベル試験において、正確な試験や測定に磁場が必要とされる場合に対応します。スピントルク発振器試験、磁気シミュレーション、複雑な多層構造の異方性の特定などは、MPSシステムのアプリケーションのほんの一例に過ぎません。 特徴 - MPSシリーズ磁性プローブは、印加磁界の2次元および3次元配向を任意に設定できる市場で唯一のプローブステーションであり、スピントロニクスデバイスの特性評価およびスピントロニクス研究のための究極のソリューションとなります。 ...

... SPS-2600-VACおよびSPS-2800-VACシリーズは、真空または制御ガス雰囲気において、最大100mmまたは最大200mmのウェハーを電動または半自動でプロービングできるように設計されたマイクロザクト社の真空プローブシステムです。この真空テストソリューションは、システマティックで正確、コスト効率が良く、低ノイズで使い勝手の良いものです。これらの真空プローブシステムは、振動補正された汎用性の高いプラットフォーム上に構築されており、様々なプローブアプリケーションに対応できるように構成することが可能です。77Kまでのアイシングフリー試験や、酸化しやすいデバイスやコンポーネントの高温試験に最適なMicroXactの真空プローブシステムは、制御された環境のウエハレベルプロービングを提供します。 真空プローブステーションの特徴 ...

... CPS-XXX-CFは、半導体デバイスや回路の低温テストや極低温ウェハースケールテストをコスト効率よく、安定的に、信頼性高く、便利に行うことができるプローバです。内蔵の防振装置、スマートな熱管理、工学的な熱膨張補正により、この極低温プローブステーションシステムは、ナノエレクトロニクス（グラフェン研究、分子エレクトロニクス、量子コンピュータなど）から宇宙ベースのエレクトロニクスまで、幅広いアプリケーションに理想的なシステムとなっています。クローズドサイクル冷凍機と独自の熱管理により、安価で高速な運用が可能です。マイクロザクトの極低温プローバは防振構造になっており、振動を業界標準のレベルまで低減しています。超安定なマイクロマニピュレーターステージにより、プローブ先端をデバイス形状に正確かつ再現性よく接触させることができます。豊富なプローブとウェーハチャックにより、超精密fAスケール測定からRF測定まで、幅広い用途に対応します。MicroXactの極低温プローブステーションでは、様々なプローブマニピュレーターやプローブチップが使用可能です。 極低温プローバステーションの特徴 ...

... マイクロザクトの極低温磁気プローブステーションは、電磁石、超伝導マグネット、または電磁石と超伝導マグネットの組み合わせでご利用いただけます。このようなシステムは、低温スピントロニクス試験、スピントルク発振器試験、ホール効果、量子ホール効果試験、その他多くの試験に使用されています。 低温磁場プローブステーションの特徴 - 超電導マグネットプローブシステムとチャック・プローブの独立温度制御により、チャックが非低温のまま全磁界での極低温試験が可能。 - 多次元磁場測定が可能 - ...

... MicroXactは、お客様と協力して、拡張温度範囲やカスタム光学部品の統合など、常に進化するニーズに対応したアプリケーション固有の高度にカスタマイズされたプローブソリューションを開発してきた歴史があります。私たちは、お客様のテストコスト低減に貢献するソリューションを見つけることに専念しています。以下に、そのようなソリューションの例をご紹介します。 カスタマイズされたウェーハプロービングステーション - 外部照明下でのプロービング 多くのオプトエレクトロニクス部品（IRセンサー、ボロメーター、フォーカルプレーンアレイ、太陽電池モジュールなど）は、プロービングの際に外部照明とカスタム光学部品の統合を必要とします。この照明には、黒体照明からソーラーシミュレーター照明、パルス・変調・連続波レーザー光による照明まであります。外部照明を必要とするもう一つのアプリケーションは、レーザートリミングやカッティングに関連するものです。マイクロザクトは、このようなアプリケーションにプローバを適応させた経験があり、お客様のカスタムプローバステーションの要件に応じた便利でコスト効果の高いソリューションを、お客様と一緒に考えたいと考えています。 ...

... HPD IQ3000は、4K環境下で150mmおよび200mm基板に対応する高精度全自動プロービングステーションです。商用量子コンピュータや超伝導コンピュータの実現を加速するために、チップ開発者が設計をインテリジェントに反復するために必要なツールを提供します。IQ3000は、設定可能なDCおよびRFケーブルを統合し、カスタムプローブカードも利用できるため、究極の柔軟性を持ったテスト構成が可能です。磁気シールドを内蔵した堅牢な設計により、最も繊細な超電導デバイスの最高品質のデータを保証するために必要な安定した環境条件を提供します。完全自動化されたウェーハローディングと洗練されたVeloxソフトウェアスイートにより、高スループットテストと無人運転による迅速なデータ取得を実現します。FormFactorの長年にわたるプロービングの専門知識と数十年にわたる精密な極低温技術を結集したこのシステムは、超電導デバイスのテストと測定をラボからファブに持ち込むことができます。 ...

... HPD Kilimanjaro 122は、お客様のあらゆるプロービングニーズにお応えする優れた4Kソリューションです。長いターンアラウンドタイム、高ノイズ、低信号能力などの問題を解決し、お客様をサポートすることを目的としています。プローブ計測ソリューションと極低温システムに関するFormFactorの優れた知識は、お客様の目標達成を支援するために最適なポジションを提供します。 真の4K温度を達成するために、このシステムはプロービング作業を行うために極低温ポジショナを採用しています。すべての信号が試料に到達する前に十分に沈むように、細心の注意を払っています。すべてのインターフェースは、試料に影響を与える放射線を遮断するよう特別に設計されています。光学ポートには、オプションで4Kと50Kの遮光シャッターを取り付けることができ、寄生する熱負荷を除去することができます。その結果、5mKの温度安定性を持つ真の4Kシステムが実現しました。 プロービングアプリケーションでは、機械的な振動も大きな問題となります。プローブと被測定機（DUT）の間の変位は、試料にダメージを与え、測定にノイズを誘発する可能性があります。また、機械的な振動がケーブルに伝わると、信号にも摩擦帯電ノイズが誘導されます。当社では、柔軟なサーマルジャンパーと真空ベローズを採用し、GMクライオクーラーをシステムの他の部分から切り離します。 カスタマイズを念頭に置いて設計されたKilimanjaro ...

... HPD Kilimanjaro 125は、超低振動アプリケーションに重点を置いた、あらゆるプロービングニーズに対応する優れた4Kソリューションです。Kilimanjaro 122と同様に、このシステムは、長いターンアラウンドタイム、高ノイズ、低信号能力などの問題に対応します。フォームファクターは、プローブ計測ソリューションと極低温システムに関する優れた知識を有しており、お客様の目標達成を支援する最適な立場にあります。 このシステムは、利用可能なすべての冷却力を最大限に活用するために、さまざまな熱絶縁技術を採用しています。すべての信号が試料に到達する前に十分に沈むように、特別な配慮がなされています。すべてのインターフェースは、試料に影響を与える放射線を遮断するよう特別に設計されています。光学ポートには、オプションで4Kおよび50Kの遮光シャッターを取り付けることができ、寄生的な熱負荷を除去することができます。その結果、5mKの温度安定性を持つ真の4Kシステムが実現しました。 プローブアプリケーションでは、機械的な振動も大きな問題です。大きな変位は、試料にダメージを与え、測定にノイズを誘発します。また、機械的な振動がケーブルに伝わると、信号にも摩擦電気ノイズが誘導されます。このシステムは、Kilimanjaro ...

... 真の4K低温で高精度な測定を実現する大型超低振動チップスケールプローバー HPD Kilimanjaro 1260は、人間工学に基づいた低振動システムで、あらゆるプローブニーズに対応する優れた4Kソリューションです。Kilimanjaro 125と同様に、このシステムは、長いターンアラウンドタイム、高いノイズ、低い信号能力などの問題に対処します。フォームファクターは、プローブ計測ソリューションと極低温システムに関する優れた知識を持っており、お客様の目標達成をサポートする最適な立場にあります。 Kilimanjaro ...