相対圧力センサ

熱ねじ式精密

ひずみゲージを使用し、圧力を電気信号として測定するセンサーです。ミネベアでは、シリコン・オン・サファイア技術を応用した高精度圧力変換器や、ひずみゲージを使用した長期安定型圧力変換器を製造しています。各種計測機器に接続し、圧力の表示、記録、制御、監視などを行います。 感度部を構成する材料によって、半導体ひずみゲージ方式（SOS方式）と金属箔ひずみゲージ方式（ストレインゲージ方式）があります。 '-シリコン・オン・サファイア（SOS）技術による直接圧力型センサ-。 サファイア（Al2O3単結晶）基板上にシリコン薄膜（エピタキシャル成長）を形成した圧力変換器です。このシリコン薄膜を利用したシリコン半導体ひずみゲージは、電気抵抗線そのものがサファイア基板に接続されており、物理的にも電気的にも極めて安定した理想的なセンサーを構成している。H-IIAロケット1機あたり約60個が使用されている。