LEGEXシリーズは超高精度CNC三次元測定機です。
固定ブリッジ構造と高剛性ガイドウェイ上の精密エアベアリングにより、優れた運動安定性と超高精度な幾何学的精度を保証します。スライダーの「重心」に配置された駆動システムは、最高の動的性能を発揮します。さらに、アクティブ防振スタンドが超高精度を実現します。
熱安定性を考慮した構造、低膨張の結晶化ガラス製スケール、温度補償により、19℃から22℃の温度範囲で高精度を保証します。
主な特長
-誤差を生じさせる可能性のあるあらゆる要因を厳密に分析し、その影響を排除または最小化することで、0.28μmという卓越した精度を実現。
-0.01x10-6/Kという超低膨張係数の超高精度結晶化ガラススケールを各軸に採用。
-高剛性ガイドウェイを走行する固定ブリッジ構造と精密エアベアリングにより、優れた動作安定性と超高精度な形状精度を実現。
-マルチセンサーとSMS機能(Smart Measuring System)をサポートするUC480コントローラー。
-ミツトヨの高精度スキャニングプローブMPP310Qをはじめ、数種類のオプションプローブシステムを使用可能。
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