固定焦点顕微鏡レンズ
表面検査用計測学用途素材検査用
特徴
- タイプ
- 固定焦点
- 技術的応用
- 計測学用途, 半導体検査用, 素材検査用, 表面検査用, 製造ライン用, 表面粗さ測定用
- その他の特徴
- 高解像度, アポクロマート, コンパクトなデザイン
- 焦点
4 mm
(0.16 in)
詳細
製品概要- WLI-Unitに合わせた新設計
- パーフォカル60 mmで、コンパクトかつ軽量ながら作動距離を確保
- 高開口数 (N.A. 0.50) により高解像度を実現
- Planアポクロマート補正
- 対物内にビームスプリッタおよびリファレンスミラーを内蔵
- 干渉縞調整機構を標準装備
技術仕様- モデル: WLI Plan APO 25x
- 倍率: 25x
- 数値開口 (N.A.): 0.50
- 作動距離 (W.D.): 3.6 mm
- 焦点距離 (f): 4 mm
- パーフォカル距離 (P.D.): 60 mm
- 分解能 (R): 0.55 µm
- 適用チューブレンズ焦点距離: 100 mm
- 視野 (2/3" カメラ): 0.26×0.35 mm
- 視野 (WLI-Unit): 0.29×0.22 mm
- ガラス補正: なし
- スペクトル範囲: VIS
- 観察/干渉計タイプ: 干渉計
- ミラーチューブ長 (取付ねじ除く): 57 mm
- 取付ねじ: RMS / 20.32 mm ×36 TP
- 外径: 40 mm
- 質量: 290 g
用途- 白色干渉計測および表面プロフィロメトリ
- 表面粗さおよび段差高さの測定
- 薄膜検査および生産ラインでの光学的計測
- 半導体、精密機械、材料試験における部品検査
互換性と取り付け- 100 mm チューブレンズでの使用を想定
- 2/3" カメラフォーマットおよび WLI-Unit と互換
- RMS ネジ / 20.32 mm ×36 TP による取り付け
- 可視域 (VIS) のスペクトル対応
MITUTOYOのその他の関連商品
Optical Measuring Systems
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。