光学顕微鏡 FS series

測定長距離作業式半導体用

- オプションの内向き回転ターレットと作動距離の長い高品質対物レンズにより優れた操作性を実現。 - 半導体用プローバーステーションの顕微鏡ユニットとして最適。 - L-モデルおよびL4モデルは、266～1064nmのYAGレーザー波長域に対応し、薄膜や液晶基板のレーザー切断が可能。 - 人間工学に基づいたデザインで、粗動と拡大ファインフォーカス調整用ノブを装備。