残留ガス分析器

濃度組み込み式

MKSの残留ガス分析装置は、一般的な残留ガス分析用に製造されています。 加速器、真空コーティング、高エネルギー物理学を含む様々な残留ガス分析装置アプリケーションに適用可能です。 真空監視と電子診断の新しい可能性を開くために作られています。 残留ガス分析装置は、これまでにない範囲の計器制御オプションを使用して、真空のトラブルシューティングとチャンバー残留ガスの監視を簡単に行うために作られています。