ズーム顕微鏡レンズ NanoVue

検出用検査用UV

ナビターは、ナノビュー248nm 4XディープUVズームレンズを開発することにより、光学検査の分解能限界をさらに拡大する必要性の高まりに応えた。NanoVue光学系は深紫外（DUV）光で動作し、従来の可視光顕微鏡の分解能限界を効果的に倍増させながら、歩留りに重要な欠陥の検出と特性評価を可能にします。 - 検査感度は90nm。 - 100倍対物レンズとの組み合わせで、75倍から300倍のズームレンジ。 - 0.15～0.037mmのFOV（2/3 "フォーマットのセンサーと100倍の対物レンズ使用時）。 - Deep UV対物レンズを使用した0.1 um以下の光学検査。 - 業界唯一のDeep UV Zoomソリューション。 NanoVue Zoomレンズは、新しいOEM製品の開発や、より高いスループットを必要とするDUV装置への統合に理想的です。