SWAS-VFは、通気溝付きのワッシャーです。
通気溝は、機器や機械のドリル穴に閉じ込められたガスを容易に逃がし、真空装置の真空引きをサポートします。
クリーンルーム洗浄・クリーンルームパッキンを標準装備しています。
SWAS-VF-PCは、化学研磨により表面の粗さを改善しています。
アウトガス量が極めて少ない。
中真空環境下での使用に適しています。
SVSS 通気孔付ソケットヘッドキャップスクリューなどの通気孔付ネジと組み合わせてご使用ください。
用途
真空機器、真空チャンバー、FPD製造装置、半導体デバイス、電子顕微鏡など
SWAS-VF(通気溝付平ワッシャー
SWAS-VF-PC(通気溝付平座金、化学研磨付
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