吸引式ポータブルガス検知器XPS-7IIは、必要な時に必要なガスを簡単に切り替えられるユニークな検知器です。
センサーは、センサーストッカーと呼ばれる装置に収納されています。ストッカーには最大6個のセンサーカートリッジを収納できます。クリーンルーム内でアラームが発生した場合、必要なセンサーを取り出せば、クリーンルーム内で実際にガス漏れが発生していることを確認できます。
検出器はバッテリー駆動で、持ち運びが可能です。
NEW XPS-7 IIは三フッ化窒素(NF3)の検出も可能になりました。
有毒ガスが発生する半導体工場でのガス漏れ検査や濃度測定に。
特長
硫化水素(H2S)、アルシン(AsH3)、アンモニア(NH3)、塩素(Cl2)、三フッ化窒素(NF3)、シラン(SiH4)等の半導体製造用ガス検知器です。
センサーユニットを交換することで、1台のガス検知器で様々なガスを検知します。
センサユニットの脱着が容易
最大6個まで収納可能なセンサーストッカー付き
プローブ付きガスサンプリングホース、ショルダーストラップ、単3アルカリ乾電池4本、予備フィルター
オプションACアダプター(AC100V/DC6V)、センサーストッカー、ログデータ収集キット
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