LED光源

UVUSB接続フォトリソグラフィー用

この新しいUV LED光源は、リソグラフィーのエキスパートであるOAIによって設計・デザインされたものです。この光源は多くのユニークな利点をもたらしますが、その中でも最も重要なのは、非常に長い寿命にわたって安定した強度を維持できることです。この光源はエネルギー効率が高く、メンテナンスや光源交換が不要で、水銀を含んでいません。 OAI UV LED Lightsourceのビームサイズは4インチから12インチで、ビーム均一性は+/-4%以下です。プリズムアレイとライトパイプを採用し、優れた均一性を実現しています。コリメーション角度は2度以下です。波長は365nm、405nm、またはその組み合わせで、強度を変えることができます。照射量制御、時間指定露光などの機能を備えています。使いやすいOAI光源は、タッチスクリーンインターフェイスを採用し、USBリモートインターフェイスを搭載しています。 UV光源には、頑丈なスタンド、フォトリソグラフィー印刷用のTooling Module、単一波長または複数波長バージョンなど、さまざまなオプションが用意されています。このシステムは、あらゆるOAIリソグラフィーシステムに統合することができます。