OAVエアベアリングバーは、既存のアプリケーションへの後付けや新しいアプリケーションへの設計が容易なプロファイル設計で製造されています。OAVエアベアリングバーは、表面と基板との間に均等に分散したガス膜を形成します。気体の粘度が低いため、粘性せん断による摩擦損失が発生し、機械的接触が回避されます。空気圧と真空の組み合わせにより、ベアリングバーが基板を押さえつけると同時に、表面から持ち上げることで、究極の精度とフライハイトを実現します。フライハイトの範囲は20~120ミクロンで、±5ミクロンの安定性を保っています。
サイズ - 1250mm OAVエアバー
製品番号:OAVCB6060
入力圧力:20.0 psi(137 kPa)
入力最大圧力入力最大圧力 - 275.7 kPa(40.0psi)。
フライハイト - 80 ミクロン(0.0032 インチ)
フライハイト・レンジ - 20 - 120ミクロン(0.0008 - 0.0047インチ)
剛性 - 0.04 N/ミクロン
高さ安定性 - ±5 ミクロン
フローレート - 0.63SCFM
真空流量 - 0.43SCFM
OAVエアベアリングエアバー幅 - 60mm
OAVエア・ベアリング エア・バーの高さ - 57mm
OAVエアベアリング・エアバーの長さ - 1250mm
ハウジング材質/仕上げ - A6N01SS-T5アルミニウム合金/ブルーアルマイト
多孔質体材質 - カーボン
平面度 - 0.025 mm(0.001インチ)
重量 - 2.13kg(4.7ポンド)
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