アルミニウム合金プロファイル OAVCB6060

長方形

OAVエアベアリングバーは、既存のアプリケーションへの組込みや新しいアプリケーションへの設計が容易なプロファイル設計で製造されています。OAVエアベアリングバーは、表面と基材の間に均等に分散したガス膜を形成します。気体の粘度が低いため、粘性せん断による摩擦損失が機械的接触を回避します。空気圧と真空の組み合わせにより、ベアリングバーが基板を押さえつけると同時に表面から持ち上げ、究極の精度とフライハイトを実現します。フライハイト範囲は20～120μmで、±5μmの安定性を維持している。 サイズ - 1250mm OAVエアバー 入力圧力 - 20.0 psi (137 kPa) 入力最大圧力入力最大圧力 - 40.0 psi（275.7 kPa） フライハイト - 80ミクロン（0.0032インチ） フライハイト範囲 - 20 - 120ミクロン（0.0008 - 0.0047インチ） 剛性 - 0.04 N/ミクロン 高さ安定性 - ±5 ミクロン 流量 - 0.63SCFM 真空流量 - 0.43SCFM OAVエアベアリングエアバー幅 - 60mm OAV エアベアリング エアバー高さ - 57mm OAVエアベアリングエアバーの長さ - 1250mm ハウジング材質/仕上げ - A6N01SS-T5アルミニウム合金/ブルーアルマイト 多孔体材質 - カーボン 平面度 - 0.025 mm（0.001インチ） 重量 - 2.13 kg（4.7 ポンド）