ダブルパス構成での光学検査、または反射での表面形状測定用コンパクトモジュール
利点
- ダブルパスまたは反射光による精密測定
- モジュールコンセプトによる試験波長の簡単な切り替え
- 複数のラムダPVによる非球面波面の測定
- SHSLab波面センサを単独で使用可能
SHSInspect RLモジュールは、ダブルパスによる光学部品の機能試験や反射光による表面形状測定に対応するフレキシブルなユニットです。SHSLab波面センサー、ファイバー結合光源、結像光学系をコンパクトなシステムに統合しているため、ラボのセットアップや生産ラインへの組み込みが大幅に簡素化されます。
結像レンズのような特に補正の必要な光学部品はダブルパスでテストされ、測定精度の向上とテストセットアップの正確な参照という利点があります。
上に示したテスト構成では、SHSInspect RLモジュールにより、高精度の球面ミラーまたは平面ミラーを使用したレファレンシングが可能です。
SHSInspect RLモジュールには、VIS、NIR、SWIRの各レンジに対応するさまざまなバージョンがあります。光源は、指定された波長範囲内で手動で交換できます。
SHSInspect RLモジュールは、ゼルニケ分析とPSF/MTF計算機能を備えた強力なシャックハルトマンソフトウェアSHSWorksを使用しています。高性能インターフェースは、SHSInspect RLモジュールの統合を簡素化し、自動測定プロセスをサポートします。
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