超高真空顕微鏡 NX-Hivac

原子間力測定CCD

故障解析担当エンジニアは、Park NX-Hivac型AFMにより真空SSRM計測の感度と分解能を向上できます。真空中で測定することにより更に高い精度と優れた再現性が得られ、またプローブ先端と試料間のダメージも大気中やN2環境よりも軽減されるので、ユーザーはこの故障解析アプリケーションで広範囲のドーパント濃度と優れた信号応答で計測が可能になります。 真空環境でSSRM計測を行うことにより、チップ-試料間の力を小さくしてチップ及び試料の両方のダメージを大幅に削減できます。これにより、それぞれのチップ寿命を伸ばすことで、測定のコストと運用効率を向上させることができ、また同時に、空間分解能とS/N比も改善できる為にもっと正確な測定結果を得ることができます。したがって、NX-Hivac型を使用した真空SSRM計測は故障解析エンジニアに彼らのスループットを向上させ、コストを削減と精度を改善するという素晴らしい選択を与えてくれます。 Hivacマネージャーの制御により、最適な真空状態までのポンピングと排気プロセスが、ワンボタン操作だけで論理的及び視覚的に制御されます。それぞれの工程は色と図式の変化により視覚的にモニタリングができるので、ワンボタン操作の後は真空操作の手順について心配の必要がありません。より高速で簡単な真空制御ソフトウエアにより、真空AFMにおける操作の簡便性と高い生産性が実現されました。 NX-Hivac型はユーザーの入力パラメータを最小にした装置です。その為に、ユーザーはより速いスキャンを行い研究のスループットを上げることができます。 電 動ステージによるStepScan自動計測 StepScanでは、ユーザーが複数のエリアのイメージングが行えるように、装置に素早く且つ簡単にプログラムが行えます。NX-Hivac型では、スキャン、カンチレバーのリフト、ユーザーの設定した座標まで電動ステージの移動、アプローチをする及び繰り返す、というわずか5ステップでスキャンを行えます。これにより、生産性を非常に向上させると同時にユーザーの入力を最小限にします。 電 動レーザー アライメント Park社の電動レーザービームアライメント機構により、ユーザーの入力無しでそのまま自動計測ルーティンを継続できます。Park社の最先端のプリアラインされたカンチレバーホルダーを使用することで、交換されたカンチレバー上にレーザービームがフォーカスされます。それから電動ポジションノブによってレーザースポットは、X及びY軸方向に沿って最適化されます。