ガス用調合バルブ 99 series

高速精密高精度

概要
ParkerのSeries 99小型バルブは、コンパクトな外形で高速かつ高圧のディスペンス/ガス制御を実現します。分析・プロセス用途向けに設計され、応答速度の速さ、極めて低いリーク率、広い温度範囲での安定動作を提供します。

技術仕様

• 流量: 最大110 SLPM
• 最大使用圧力: 1250 psi (86.2 bar)
• 真空～圧力範囲: 1x10-5 torr ～ 定格圧力
• オリフィスサイズ: 0.030、0.060、0.116 in (0.76、1.52、2.95 mm)
• 使用温度: 40 °F ～ 221 °F (4 °C ～ 105 °C)
• 機能: 2ウェイ通常閉 (NC)、3ウェイユニバーサル
• 応答時間: < 5 ms（オリフィス依存）
• リーク率: 1 x 10-8 atm cc/sec He
• 外形寸法 L×W×H: 41.7–82.3 mm / 19.1–22.1 mm / 41.7–82.0 mm
• 重量: 87.9 g (3.1 oz)

材料と構造

• 本体材質: 316ステンレス
• シール材: Vespel、銀めっきニッケル、FKM
• 用途に応じたオリフィス選択が可能

電気・制御

• 作動方式: ソレノイド（電磁）; 動作: 電子制御
• 制御方法: 電流または電圧
• 消費電力: 2.5 W または 4.2 W
• 入力電圧: 12 VDC または 24 VDC
• 電気接続: 12" ワイヤーリード

接続・取付

• 接続方式: A-LOK® 圧縮継手 または VacuSeal® メス接続
• 接続サイズ: 1/16" A-LOK、1/8" A-LOK、1/4" (F) VacuSeal
• 取付: 取付ネジ

用途

• ガス向け: 質量分析計用キャリブラントガス制御、ガスクロマトグラフィー (GC)、プロセスガス分析、高圧ガス制御
• 研究室機器およびOEM解析機器への組込みに適合