ガス圧力調整器 SMSQ2Micro series

膜一段真ちゅう製

SMSQ2MicroおよびSMSQ2Micro130Eシリーズは、市場で最も先進的な小型超高純度（UHP）圧力調整器です。本シリーズは、半導体製造における再現性と歩留まりに不可欠なMFC（マスフローコントローラー）の性能を向上させる、極めて高精度かつ信頼性の高い圧力制御を実現します。また、半導体用途に不可欠な優れた気密性と低パーティクル発生率も備えています。 これらのレギュレータは、不活性ガスおよび腐食性ガスの両方に適しており、ステップ関数的な流量要求の変化に対して卓越した応答性を発揮します。本シリーズは、独自のセルフセンタリング式タイドダイアフラム設計を採用しており、信頼性の高いシートシールと圧力調整を実現しています。 ポペットスプリングとシート保持用ネジを排除することで、粒子の発生と捕捉を最小限に抑え、プロセスの清浄度とパージ性能をさらに向上させています。 SMSQ2Microシリーズの流体接触部品は、特殊金属で製造されており、最大250 psigの入口圧力において、卓越した耐食性、漏れ防止性能、および最大のサイクル寿命を実現します。 本体の内部は電解研磨が施されており、Semi F20の材料要件を上回るParker Veriflo独自のVericlean™ 316Lステンレス鋼で製造されています。各ダイヤフラムおよびポペットはハステロイ C-22®で製造されており、各シートはPCTFEまたはベスペル®のいずれかから選択可能です。 SMSQ2MicroおよびSMSQ2Micro130Eはいずれも、SEMIモジュラーインターフェース仕様に準拠したコンパクトな表面実装フットプリントを特徴とし、CシールおよびWシールの両構成で提供されています。