超高真空・極低温環境用リニアアクチュエータ
技術詳細
- 2相ステッピングモーター、サイズ25 mm
- モーター電圧 24 VDC
- リニア速度 1.5 s/mm
- リニアストローク 13 mm
- 位置決め精度 <0.01 mm
- 10-11hPaまでの超高真空での用途に適した乾式潤滑、106J/kgまでの耐放射線性
特徴
- スイッチングカム付き回転式エンコーダー
- ストローク制限用リニアリミットスイッチ
- 熱電対タイプKによる温度評価
オプション
- VGPL精密遊星ギア付き
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