極低温・超高真空環境用小型アクチュエータ
- 10-9hPaまでの超高真空に対応
- 極低温環境用
- 極めて高い信頼性>109サイクル以上
- ピコメーター分解能
- µsの応答時間
ピエゾ式シアーアクチュエーター
動作電圧 -250 ~ 250 V。10-9 hPa までの極低温および超高真空環境での使用に適しています。横方向の変位は圧電シア効果に基づいています。最小限の電力で優れたダイナミクスを実現。
内側の穴を利用した多軸動作のバリエーションもあります。
適用分野
- 産業・研究
- 低温・真空環境~10-9hPa
- スキャンアプリケーション
- 顕微鏡
- 精密機械
- スイッチングアプリケーション
可能な変更
- 圧電セラミック材料
- 非磁性体
- 動作電圧範囲、変位、層厚、断面寸法
- 負荷容量、力の発生
- 機械的インターフェース:平面、球面、金属、セラミック、ガラス、サファイヤなど
- 極めて厳しい長さ公差
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