ガスフィルター GasPro ™ TEM-2260 series

カートリッジ式プロセスステンレス製

新製品発売。GasPro ™ TEM-2260 ハイフロー PTFE 316L インラインフィルター GasPro™ TEM-2260シリーズフィルターは、超高流量が必要な場合の半導体ガスのろ過用に特別に設計されています。この全溶接アセンブリは、高流量が要求され、スペースが限られている場合に0.003ミクロンの粒子保持を実現します。 PTFEメンブレンとポリプロピレンを支持したカートリッジは、316Lのステンレス鋼製電解研磨溶接ハウジングに収納されています。最終的な組み立ては、ろ過窒素でパージされ、初期の清浄度が保たれます。 アプリケーションには、以下のようなものがあります。 - 一般・プロセス用不活性設備ガス - 前開きユニファイドポッド（FOUP）洗浄やフォトリソグラフィーなどの重要なプロセスに対応したクリーンドライエア（CDA*）。 詳細はデータシートをご覧ください。