ISO準拠のインデンテーション&スクラッチ試験機です。 インライン3Dプロファイラー(表面形状測定機)および膜厚プローブと組み合わせて、包括的な表面分析を実現します。
主な特徴
1つの筐体で全自動のインデンテーション、スクラッチ、3Dプロファイラー(表面形状測定機)、膜厚テスト。
特許取得済みのピエゾおよび静電容量センサー技術。
スクラッチデータと3D画像間の特許取得済みの画像相関。
高速交換ヘッドを使用した同じ筐体でのナノ、マイクロインデントおよびスクラッチテスト。
Surface Mechanical Tester SMT-5000は、用途の広い機器です。 表面粗さなどに加えて、硬度、弾性率、引っかき傷の付着、膜厚などの機械的特性を測定する機能を統合します。 このすべては1つの筐体に統合されています。 ISTモジュールはインデントとスクラッチの両方を提供します。 ピエゾ作動技術と静電容量センシング技術を組み合わせることで、ISTはナノからマイクロの範囲で最高精度の測定を実現します。 ISTモジュールに加えて、SMT 5000は、3Dプロファイラー(表面形状測定機)および環境モジュールを備えた分光反射率フィルムの厚さを組み込んでいます。 これらの能力はすべて、多くの分野の要求の厳しいエンジニアや研究者に対応しています。
他に類を見ない表面材料試験機
ニーズに合わせてSMT-5000をカスタマイズする
インデンテーションとスクラッチモジュールの組み合わせ
ISTモジュールは、インデンテーション機能とスクラッチテスト機能を1つのモジュールにまとめたものです。
特許取得済みのインライン3Dプロファイラー(表面形状測定機)
3Dプロファイラー(表面形状測定機)は、高解像度の表面地形とスクラッチデータを自動的に結合します。
自動化された底面XYステージ
高精度のXYステージにより、スムーズで非常に正確なテストポジショニングが実現します。
非破壊膜厚
分光反射率に基づいて、膜厚測定(FT-100)モジュールは、超高速で直接的な非接触膜測定を提供します。
上部(Z方向)構造
テストおよび検査モジュールを移動するための高解像度エンコーダーを備えた高精度の複数のZドライブ。
プラットフォーム(筐体)
優れたモジュラーテストと仕様を容易にするオープンプラットフォーム構造。