床置きガス清浄機 PS5 Series

フィルターアルゴン

PS5 MegaTorrの希ガス類の清浄器は半導体の塗布に超高度純度（UHP）のヘリウムまたはアルゴンのガスを提供するようにとりわけ設計されている熱されたゲッター ベースの清浄器である。特許を取られたゲッターの合金は高温で不可逆化学結合の形成によって不純物を取除くために作動する。取除かれた不純物は清浄器が指定の内で作動する場合どのような場合でも解放されない。O2、H2O、CO、二酸化炭素、H2、CH4 （THCか総炭化水素）およびN2のための出口の不純物レベルは十億の集中ごとの部分に減る。これらの清浄器は多数年を持続させるように設計されているが寿命は入口の不純物集中および平均流動度によって決まる。寿命の計算のための工場に連絡しなさい。コラムが消費されれば新しい寿命のための新しいコラムと、取り替えることができる。熱くするゲッターのコラムの下流で、水素の不純物は水素の取り外しの単位（HRU）として知られている特許を取られた二次周囲温度のゲッターのカートリッジによって取除かれる。