浄水と再利用の中間に位置するサルヘル社は、超純水を得るための最終処理システムを設計しています。その一例として、脱塩・電気脱イオン(EDI)方式を採用したコンパクトな飲用水処理プラント(型番:PUR-EDI)があり、これにより極めて高品質な処理水を得ることができます。また、連続電気脱イオン(CEDI)方式を採用したコンパクトな浄水プラント(型番:PUR-CEDI)も提供しています。この超純水製造用のイオン交換脱塩装置、あるいは電気脱イオンモジュールは、事前に浸透処理された水に適用される精製システムで構成されており、これにより導電率が0.1 μs/cm未満の水を製造することが可能です。 残留シリカ濃度は最大1 g/lに達することがあります。
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