エネルギ－部門用アニール DOA-420

大量生産

横型拡散・酸化・アニール装置 本装置は、主に結晶シリコン太陽電池の製造工程において、シリコンウェハーにドーピングやPN接合を形成するために使用されます。 石英ボートとウェハの準備→ウェハの挿入→ウェハの投入→レシピの選択→ボートの投入→チューブの吸引→昇温→酸素注入口→Pocl3注入口→押し込み→DOA処理→ボートの搬出→冷却→テスト→ウェハの搬出。 - 低圧拡散、酸化、アニール。 - 高シート耐性技術ソリューション。 - 特許取得済みの技術で、ボロンの拡散が可能です。 - 独自の二重構造の炉扉構造を採用。 - 排ガス処理装置の特許技術。 - 高速一体型モジュールボート押し機構。 - 高精度空気源圧力安定化技術。 - インテリジェントな自動制御 - 独立した知的財産権を持つMESソフトウェア - 過熱、熱電対の破損、ボートの衝突に対するアラーム保護。 - Match S.Cスマートファクトリーソリューション。