3軸スキャナ PULSAR

測定用切断機用レーザー

微細加工用ビームシェーピングシステム SCANLABはPulsar Photonics社と共同で、微細加工用のより高集積なスキャニングソリューションの開発・販売パートナーシップを締結しました。USP（超短パルスレーザー）アプリケーションの市場は成長を続けており、主要な課題はしばしば生産性の向上を求めることに基づいています。このような要求に応えるためには、多くのアプリケーションにおいて、マルチビームシステムなどを用いてレーザー加工を並列化することが必要となります。 Microscan Extension (MSE) Microscan Extensionは、「1-µmのレーザーナイフ」と呼ぶことができます。このスキャン目的は、スキャンシステムをマイクロスポットのスキャンヘッドに拡張します。 スキャナーとMSEの組み合わせにより、高精度の微細加工が可能になります。フォーカス径は4μm以下、紫外波長域では1.5μm以下です。 マルチビームスキャナ(MBS) MultiBeamScannerは、レーザー切断、穴あけ、アブレーションの各工程を並行して行うことができます。回折光学素子（DOE）を用いて、入射したレーザービームを多様な構成の部分ビームに分割し、1つの画像フィールドで複数のレーザースポットを同時に動作させることができます。このようにして、複数の部品を同時に加工したり、複雑な構造をより早く作成したりすることができます。XL SCANと組み合わせることで、並列処理のスピードと精度をさらに高めることができます。 フレキシブルビームシェイパー（FBS） FlexibleBeamShaperは、ユーザーが定義したビーム分布を生成できる機械分解可能なビームシェーピングシステムです。電子的に制御可能な光位相変調器により、FBSはあらかじめ定義されたさまざまなビーム形状を備えた「フォトニック・ツールボックス」となります。