降下機用積み込み / 積み下ろしシステム

ウェーハ

ウェハー/セルは、手動またはモントラックシステムにより、特別に開発されたシュミッドキャリアで単一プロセス工程間を搬送されます。キャリアはローダー内に一列に並べられ、搬送位置まで移動されます。 ここで、ウェハー/セルは、インデックスシステムを介してキャリアケースから移動され、その後、プロセス装置に搬送されます。アンローダーは逆にウェハー/セルを受け取り、シュミッドキャリアへの一定のローディングを保証します。このため、ウェハー/セルは速度制御されたコンベアベルト上の列に同期され、インデックスシステムを介して空のキャリアケースに順次格納されます。 小さなフットプリントで最高のスループット 振動のない安全なウェハー/セル搬送 様々なサイズのウェハー/セルに対応 低破損率 < 0.1 120 µmからの非常に薄いウェハー/セルへの適用が可能