SensirionからのCMOSens®のマスフローのメートルSFM4100が空気および他のnon-aggressiveガスを測定するのに使用されている。 それは20までslmである広い動的測定範囲を提供する。 センサーの単位にデジタルI2Cインターフェイスがあったり、7まで棒の圧力で確実に作動する十分に目盛りを付けられ、温度によって償われる出力信号を提供する。 SFM4100シリーズは第四世代のケイ素センサー破片によって呼ばれるSF04を特色にする。
熱マスフローセンサーの要素に加えて、破片はアンプ、A/Dのコンバーター、EEPROMの記憶、デジタル信号処理の回路部品およびインターフェイスを含んでいる。 単位にマスフローのメートルが使用中の間、全体の信号の鎖のテストを可能にする自己診断の特徴がある。 単位は麻酔および他の医療機器のために一般的である。
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