不活性ガス浄化装置 TSA床置き
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特徴
- ガスの種類
- 不活性
- 設置
- 床置き
- ガス流量
50,000 m³/h
(1,765,733 ft³/h)
詳細
除去された不純物：H2O
- 精製プロセス：吸着
- 原理：ガスは吸着剤層を通過し、そこでH2Oが除去される。
- 主な使用領域乾燥ガスを必要とする全てのプロセス
技術情報
- 圧力：最大380barg
- 出口不純物レベル< 10 ppb
- 半自動または自動バージョン (HMI/PLC)
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