セトラのモデル227トランスデューサは、今日の300mmツールに必要な高密度モジュール式ブロックガススティックおよびパネル用に設計されています。モデル227の1-1/8''フットプリントは貴重なスペースを最適化し、その頑丈な設計は、長期安定性、高精度、極端な環境に対する卓越した感度を必要とする圧力測定に理想的です。
デッドエンドのキャビティ容積が大きい他の多くの設計とは異なり、227はパージが容易な小さな掃引センサー・チャンバを備えています。すべての接液部品は、5Ra(最大7Ra)のパッシベーション処理を施した316L VIM/VARステンレス鋼で、表面の凹凸をなくし、耐腐食性のために適切な表面化学反応をもたらし、コンタミのないガス分布を保証します。
モデル227は、±0.25%のフルスケールまたは±1.0%の読み取り精度を提供します。モデル227は、マルチコンダクタケーブル、4ピンバヨネットコネクタ、電気的終端用の9ピンまたは15ピンD-subコネクタを選択できる、省スペースの1-1/8 "CシールまたはWシールダウンマウントインターフェースベースが付属しています。モデル327 1-1/8''回転式ディスプレイと組み合わせることで、このパッケージは究極の圧力測定と表示を実現します。回転保護カバーの下にあるゼロ調整とスパン調整に側面からアクセスでき、絶対圧、ゲージ圧、または連成圧のレンジを選択できるユニークな設計です。
動作原理
セトラの特許取得済み可変キャパシタンス・センサは、316Lステンレス鋼ダイアフラムと絶縁電極板を備えています。可変キャパシタはセンサ本体と電極板の間に形成されます。圧力が増加すると、ダイアフラムがわずかに丸くなり、静電容量が減少します。
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