赤外線シート厚みモニターは、バッテリーセパレーターなどの透光性シート、ブラックレジストなどの低反射コーティング、シリコンの厚みを測定する装置です。ラボレベルから生産現場でのインライン100%検査まで、あらゆる用途に使用できます。赤外線吸収システムは、透過型光学系を備えた小型ミラープローブで構成されており、100以上の波長で膜厚、密度、組成などの複数のパラメータを同時に測定することができる。
1 光干渉式では難しかった半透明シート、低反射フィルム、シリコンなどの膜厚を測定可能
2 コンパクトなプローブ
30mmの小型反射型プローブを採用することで、装置や生産ラインなどの狭いスペースに設置することが可能です。また、プローブと本体との接続は光ファイバーケーブルのみであるため、耐環境性にも優れています。
3 高速測定
950nm~1650nmの近赤外線波長を100点以上同時サンプリング可能
4 厚み測定再現性 0.1%以下(3σ)
5 測定アルゴリズム
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