・MES、UPS、RFID機能に対応しています。
・リフトの配置が合理的であるため、薬液の交差汚染やプロセス浴の過剰反応を効果的に防止できます。
・コンパクトで合理的な構造レイアウトを採用しており、酸エリア、アルカリエリア、高清浄度エリアが仕切りで区切られているため、設置面積が小さくなっています。
・先進的な二重層槽構造により、スループットを効果的に向上させます。
・プロセス槽は「フィード&ブリード」モードと「時間定量注入」モードを組み合わせることで、槽の稼働時間を延長し、槽交換期間を効果的に短縮します。
・薬液の注入および補充には、槽内および注入バレルに設置された二重磁歪式流量計によるリニア検出と、調整可能なバルブによる流量制御構造を採用し、初期補充のタイミングと正確な注入精度を効果的に確保します。
・プロセス液と接触するすべての材料を最適化・改良し、不純物の析出を防止します。
・最新の低温乾燥技術を採用し、槽内の清浄度と温度制御精度を確保することで、太陽電池の少数キャリア寿命を延長します。
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