金属用研磨機

産業用

・処理能力：600個/バッチ、14400個/時（210mmウェーハ）；720個/バッチ、17280個/時（182mmウェーハ）； ・プロセス浴の循環量を調整可能； ・均一なピラミッド状のテクスチャ、エッチング深さを調整可能； ・ウェハーの厚さは120μmまで対応； ・クリーン乾燥エリアおよび自動洗浄乾燥システムを装備； ・H₂O₂の消費量が少ない； ・迅速なインライン浴液交換が可能； ・MES、RFIDシステムに対応、インライン重量検査はオプション。