製品名SL-M10P
概要半導体デバイス製造およびウェーハレベルのプロセスに対応する182 mmのP型シリコンウェーハ。抵抗率と少数キャリア寿命が管理された用途向けに指定されています。
主な仕様- タイプ:P型シリコンウェーハ
- モデル:SL-M10P
- 直径:182 mm
- 抵抗率:0.4–1.1 Ω·cm
- 少数キャリア寿命(MCLT):≥80 μs
- 酸素濃度:≤14.5 ppma
- 炭素濃度:≤1 ppma
材料および電気的特性- 指定された抵抗率範囲と不純物レベルを有するP型シリコン基板
- MCLT ≥80 μs はキャリア再結合に敏感なプロセスに適合
代表的な用途- 半導体デバイスの製造(パワーデバイス、ダイオード、MOSプロセス)
- マイクロエレクトロニクスにおける研究開発およびパイロット生産
- ウェーハの加工、試験、特性評価
包装と供給- 業界標準の包装で提供。要望に応じたカスタム包装や大量注文に対応
- リードタイムやロットオプションについてはサプライヤーにお問い合わせください
品質と適合性- 仕様に従った酸素・炭素濃度の管理下で製造
- ロット追跡および品質検査報告書は要請に応じて提供