縦型自動収納システム

カセット用クリーンルーム用高密度

概要
半導体生産向けの自動化された高密度保管ソリューションで、垂直空間の最大活用とファブの資材ハンドリングシステムとの統合を目的としています。

主な特長

• 資材レベルの自動学習・試験による迅速な導入
• 床面と垂直空間を最大化する高密度保管
• 300mmウェハファブ向けに設計
• ARV、OHT、OHS および手動プロセスとの互換性
• 現場の資材管理システムへの統合
• クリーンルーム準拠：ISO14644-14、SEMI S2、ESD基準

Stocker — 適用の紹介
半導体生産ライン向けの自動化された保管・在庫管理ソリューションで、インラインバッファおよびウェハやキャリアの安全な取り扱いを実現します。

適用領域

• 高密度保管と垂直空間の有効活用
• 高速サイクルと応答性の高い資材フロー
• 現場の資材管理システムへの統合
• 資材レベルの自動学習・試験による迅速な実装
• ARV/OHT/OHS/手動の自動化プロセスとの互換性
• Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2、ESD基準の準拠

E-RACK/TT — 機能紹介

• FOUP、CASSETTE、Magazine、Tray をサポートするオンライン半導体保管
• ARVとのドッキング対応および手動での搭載/取卸しが可能
• 標準的なSEMIソフトウェアインターフェースとモジュラー設計
• Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2、ESD基準に準拠

仕様

• 用途：半導体生産向けの資材自動保管・管理
• 対応キャリア：FOUP、CASSETTE、Magazine、Tray
• 互換性：ARV/OHT/OHS および手動での搭載/取卸し
• クリーンルーム準拠：ISO14644-14
• 規格：SEMI S2 準拠
• ESD保護：ESD基準に適合
• 設計：モジュラー
• 導入：資材レベルの自動学習/試験機能による迅速な導入
• 対象ウェハサイズ：300mm
• 主な利点：高密度保管と垂直空間の最適化