概要DUCO Mobile Cobot System は、半導体およびクリーンルーム環境向けに設計されたモバイル協働ロボットプラットフォームです。全域の安全性統合、柔軟な充電オプション、マテリアルハンドリングのデモ機能を備えています。
主な特長- 本体寸法:950×600×700 mm
- 合成精度:±0.3 mm
- ナビゲーション方式:SLAM と QR CODE
- プラットフォーム搭載荷重:最大 350 kg
- クリーンクラス互換性:Class 1K
適用紹介(モバイルコボット)- ワイヤエッジやウェハプロセスでの自動マテリアルハンドリング
- 生産サイクルが緩やかな、または可変な工程に適合
- 単品フローやバッチフローのマテリアルに対応
- 工場床面での人流と制限のないマテリアルハンドリングを実現
- 設備が固定されておらずレイアウト変更が頻繁な環境をサポート
- Wafer test、BG、WS、DB、WB、Final TEST に適用
- Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2、ESD 規格に準拠
充電システム - 単一バッテリーステーション- 保管量:1/2 ビン + 1 交換ビン
- クリーンクラス:Class 1K
- 制御システム:PLC
- データシステム:BCMS(オプション)
- バッテリー交換時間:約 3 分
充電システム - バッテリーステーション- 保管量:≥5 ビン
- クリーンクラス:Class 1K
- 制御システム:PLC
- データシステム:BCMS
- バッテリー交換時間:約 4 分
バッテリーマネジメントシステム統合バッテリーマネジメントはバッテリー状態の監視、交換スケジュール管理、運用ログを行い、連続稼働とトレーサビリティを確保します。
AGV(電子ラック/ターンテーブル) - 適用紹介- 半導体生産における自動マテリアルハンドリング
- 短サイクルおよび複数プロセスの組合せワークフローに対応
- 大量、重量物、低ドッキング精度のポイント間搬送に適合
- オーブン、Burn in、ラックバスケット、ボックスキャリアに対応
- Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2、ESD 規格に準拠
用途- ウェハの研磨および搬送
- SMT マガジンの積卸し
- オーブンの積卸し
- E-rack の積替え
適用シナリオ仕様(テクニカルスペック)- モデル:DUCO Mobile Cobot System
- 本体寸法:950×600×700 mm
- 合成精度:±0.3 mm
- ナビゲーション方式:SLAM と QR CODE
- プラットフォーム搭載荷重:最大 350 kg
- クリーンクラス:Class 1K
- 制御システム:PLC
- データシステム:BCMS(構成によりオプションまたは標準)
- 単一バッテリーステーション — 保管:1/2 ビン + 1 交換ビン;交換時間:約 3 分
- バッテリーステーション — 保管:≥5 ビン;交換時間:約 4 分