高精度振動計 NA series

微細構造・MEMS用振動計システム マイクロオブジェクトの高精度非接触振動計測 調整と取り扱いが容易 豊富なトリガーオプション X-Yテーブル 50 mm x 50 mm、その他のオプションはお問い合わせください。 顕微鏡対物レンズ 10倍、20倍、50倍 スポット径 2 µm - 10 µm、（対物レンズにより異なります。） 振動計ユニットのOEM利用が可能 WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェアのためのオープンインターフェース スペクトル解析のためのFFTソフトウェア ナノ振動計NAは、LSV 120 NGシリーズのファイバ結合型振動計とエンジニアリングマイクロスコープを組み合わせたシステムです。マイクロ構造、MEMS、カンチレバーの動的挙動や静的たわみの測定に最適なシステムです。使用する対物レンズによっては、2 µm以下の測定スポットサイズを実現することができます。 測定対象物は、X-Yステージを使用して広い範囲で位置決めやスキャンが可能で、カメラで観察することもできます。顕微鏡の対物レンズは交換可能で、可視範囲とレーザースポット径の両方を定義します。レーザー干渉計の変位分解能はピコメートル級で、最大5MHzまでの振動を解析することが可能です。 測定データの取得と表示には、特別に開発されたソフトウェアが提供されます。振動の周波数解析やトリガーによる測定記録に加えて、このソフトウェアではX-Yテーブルや外部周波数発生器の制御も可能です。また、スクリプトにより、より広範囲な測定シーケンスを自動化することができます。