アクセス用制御装置

レーザー閉ループ光学式

コントローラは、PICOSCALE 振動計を操作し、振動データを記録するために必要です。 PICOSCALE Vibrometer には、システム コントローラとステージ コントローラの 2 つのコントローラがあります： システム コントローラには、赤外線レーザービームを生成し、干渉信号を検出するために必要なすべての光学部品と電子回路が組み込まれています。さらに、測定された干渉データを位置信号に変換し、その振幅と周波数を抽出する回路も内蔵しています。ステージコントローラには、XYZ位置決めステージをクローズドループで動作させるための電子回路が含まれています。さらに、内部システム信号へのアクセスを提供し、加振器ステージを駆動するパワーアンプを内蔵しています。